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  • 光子行智能科技（常州）有限公司创立于2023年，是注册在江苏省常州市新北区龙虎塘街道的高新技术企业，创业团队成员由毕业于国内985院校的人才组成。光子行科技背靠省级智能传感小镇，致力于硅光传感器及系统的产品开发和应用创新。主要产品包括硅光加速度传感器、硅光压力传感器、硅光温度传感器、硅光声学传感器等工业级无源智能化传感器，以及高速硅光传感查询仪；应用多在电测类传感器所不能解决的如多静电、高低温、大电流、强电压、高电磁和/或易燃爆等环境。创始人励志于在硅光传感的细分领域做到世界级翘楚企业。
    企业简介
    光子行智能科技（常州）有限公司创立于2023年，是注册在江苏省常州市新北区龙虎塘街道的高新技术企业，创业团队成员由毕业于国内985院校的人才组成。光子行科技背靠省级智能传感小镇，致力于硅光传感器及系统的产品开发和应用创新。主要产品包括硅光加速度传感器、硅光压力传感器、硅光温度传感器、硅光声学传感器等工业级无源智能化传感器，以及高速硅光传感查询仪；应用多在电测类传感器所不能解决的如多静电、高低温、大电流、强电压、高电磁和/或易燃爆等环境。创始人励志于在硅光传感的细分领域做到世界级翘楚企业。
  • MOMS（Micro Opto-Mechanical Sensing）硅光传感芯片是以硅基制成的 F-P（Fabry-Pérot）微纳光学干涉腔为敏感结构，以光纤作为信号探测和读取的载体。MOMS 硅光传感芯片采用半导体加工工艺，主要涉及光刻、镀膜、刻蚀、深刻蚀、键合和划片等工艺步骤；芯片尺寸微纳级，可批量制造、一致性好。
    硅光传感芯片工艺
    MOMS（Micro Opto-Mechanical Sensing）硅光传感芯片是以硅基制成的 F-P（Fabry-Pérot）微纳光学干涉腔为敏感结构，以光纤作为信号探测和读取的载体。MOMS 硅光传感芯片采用半导体加工工艺，主要涉及光刻、镀膜、刻蚀、深刻蚀、键合和划片等工艺步骤；芯片尺寸微纳级，可批量制造、一致性好。
  • 选用 MOMS 硅光芯片制成的敏感元件克服了高灵敏度与宽动态范围相互制约的问题，具有低热噪密度、高分辨率、宽温、宽频等特性。封装成的 MOMS 硅光传感器主要有无源探测、对电磁免疫、传输距离远、工作温度宽、频率响应宽、精度高等优势，能在恶劣和危险的环境中胜任工作，并提供准确信号。硅光传感系统可服务于包括轨交、电芯、核能、煤矿、输电、航空和航天等行业，帮助客户精准探测物理量的微量变化，最终协助企业实现全年全天候的实时监测和智能运维。
    硅光传感器产品线
    选用 MOMS 硅光芯片制成的敏感元件克服了高灵敏度与宽动态范围相互制约的问题，具有低热噪密度、高分辨率、宽温、宽频等特性。封装成的 MOMS 硅光传感器主要有无源探测、对电磁免疫、传输距离远、工作温度宽、频率响应宽、精度高等优势，能在恶劣和危险的环境中胜任工作，并提供准确信号。硅光传感系统可服务于包括轨交、电芯、核能、煤矿、输电、航空和航天等行业，帮助客户精准探测物理量的微量变化，最终协助企业实现全年全天候的实时监测和智能运维。
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